芯碁微装公告，拟定增募资不超过8.25亿元，用于直写光刻设备产业应用深化拓展项目，IC载板、类载板直写光刻设备产业化项目，关键子系统、核心零部件自主研发项目，补充流动资金项目。

（文章来源：证券时报·券中社）